微量水分析儀主要分為三種類型
1、電解法五氧化二磷傳感器利用電解水分子為氫氣與氧氣原理。此傳感器由一個(gè)玻璃材質(zhì)的圓柱和兩根并行的電極組成，根據(jù)具體應(yīng)用來選擇電極材質(zhì)（通常由鉑或銠金屬絲制成），并在兩根電極之間涂有很薄的一層磷酸H3PO4,在兩電極之間出現(xiàn)的電解電流，使酸中的水分分解為H2和O2.此過程的最終產(chǎn)物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質(zhì)，因此從樣氣中吸收水分，通過連續(xù)的電解過程，樣氣的水分含量與電解后的水分是應(yīng)該是平衡的。電極電流與樣氣中水分含量成比例，信號經(jīng)過儀器內(nèi)部信號放大器處理，然后顯示并數(shù)據(jù)讀出。此原理用來測量所有氣體。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體和全部惰性氣體，極少數(shù)會(huì)同磷酸發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的氣體除外。

P2O5探頭適用于測量各種惰性氣體、碳?xì)浠衔锘蚋鶕?jù)所選擇的探頭材質(zhì)應(yīng)用于HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體中。探頭與樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質(zhì)也可以提供。

樣氣以特別的傳遞方式流經(jīng)探頭，再結(jié)合一個(gè)高質(zhì)量的界面。從而確保探頭響應(yīng)迅速和受干擾影響最小，這些設(shè)計(jì)對于很低的ppm級測量十分重要。流經(jīng)探頭的樣氣流速通常設(shè)置在 20Nl/h（100Nl/h可選）。與分析儀的電氣連接器為防水密封結(jié)構(gòu)。用戶可以十分容易的在五分鐘內(nèi)完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個(gè)M4螺絲十分容易的安裝在任何地方。

優(yōu)點(diǎn)：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時(shí)可以測量腐蝕性氣體。

缺點(diǎn)：傳感器需要定期重涂。

2、阻容法（電容法）利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是測量量程可更低，甚至達(dá)-100℃，另一突出優(yōu)點(diǎn)是響應(yīng)速度非常快，從干到濕響應(yīng)一分鐘可達(dá)90%,因而多用于現(xiàn)場和快速測量場合；缺點(diǎn)是精度較差，不確定度多為±2~3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳感器穩(wěn)定度大大提高，通過對傳感器響應(yīng)曲線的補(bǔ)償作到了飽和線性，解決了自動(dòng)校準(zhǔn)問題。

優(yōu)點(diǎn)：反映速度快。

缺點(diǎn)：精度較差。

3、冷鏡法讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達(dá)到飽和結(jié)露狀態(tài)（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃；缺點(diǎn)是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達(dá)幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(huì)影響光電檢測效果或產(chǎn)生‘偽結(jié)露’造成測量誤差。

優(yōu)點(diǎn)：精度高。

缺點(diǎn)：響應(yīng)速度慢。